電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法種類
2023-01-05 10:49:19
電子特氣管道系統(tǒng)，簡稱特氣系統(tǒng)由存儲、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲”是指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管方面(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。是一種廣泛應用于半導體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。
電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法種類：
特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定：
1、氦檢漏儀表應采用質(zhì)譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏注意事項：
氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點經(jīng)修補后，應重新經(jīng)過氣密性試驗，合格后再按規(guī)定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統(tǒng)測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。